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半导体参数测试仪
产品名称:薄膜厚度测量系统
产品型号:VM-3200
产品厂商:Screen
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Screen VM-3200 薄膜厚度测量系统

设备简介

产品特点

1.     实现在高速模式下每小时160片的高吞吐量。(SiO25点测量时) VM-3210为每小时100片。

2.     VM-2200/3200系列配备有日志存储功能,可提升维护支持。另外,基于长年在半导体业界积累的经验,进行了重视用户维护性的设计。

3.     基于长年累积的经验,实现了简单步骤的制作及光学常数的输入。重视鼠标操作的应用,且可支持笔触式面板。

4.     紧凑型设计减轻了设备更换及空间设置的困扰。


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